独自の低電圧・大電流放電により、緻密性と高密着性を備えた成膜を実現します。装飾コーティングから金型の長寿命化、耐プラズマ膜の形成まで、幅広い産業ニーズに高度な技術で対応。2023年度JVIA「真空装置大賞」を受賞した次世代の成膜装置です。

次世代パッケージ等の大型基板にも対応可能な真空プラズマ装置は、多彩な方式とガス種を組み合わせることで、最適な表面処理プロセスを実現します。
また、大気圧プラズマ装置は、大気圧下でのArイオンによる高効率かつ安定的な表面改質が可能です。はんだ濡れ性の改善やリードフレームの精密クリーニングなど、お客様の課題に合わせた最適なシステムを提案いたします。