難処理材に対する高密着プロセスが拓く新たな製造アプローチ

魁半導体
プロセス開発部
サブチーフ

富川 弥奈氏

フッ素樹脂は優れた耐薬品性・低摩擦性を持ち、多くの産業で利用される一方、極めて低い表面エネルギーにより接着・密着処理が困難な材料として知られています。当社は独自の低温・非平衡プラズマ技術により、フッ素系樹脂表面に高密着性を付与するプロセスを開発しました。本技術は化学薬品を使用せず、分子レベルの表面改質を短時間で実現可能です。また金属・樹脂・コーティング剤など多様な材料との密着性向上が確認されており、電子デバイス、医療機器、輸送機器などの製造における工程簡素化や品質向上に寄与します。本講演では、処理メカニズムおよび産業応用例について紹介いたします。