関東学院大学
理工学部　表面工学コース
教授

関東学院大学
材料・表面工学研究所
副所長

田代 雄彦氏

ファインバブル（以下, FB）とは、直径 100 μm 未満の微細気泡であると国際標準化機構（ISO）により定義されている。また FB の中でも、直径 1 μm 以上 100 μm 未満のものをマイクロバブル（以下, MB）、直径 1 μm 未満をウルトラファインバブル（以下, UFB）の 2 種類に分類される。

現在、工業的に使用されている電気めっき液は浴管理のため、添加剤を使用するものが多数あり、その中には分解生成物が蓄積しやすいものや、めっき液によっては添加量の管理が難しいものも存在する。

そのため、現状、粉末状の活性炭をめっき液に投入する活性炭処理を行うことで有機不純物等を除去している。しかしながら、活性炭処理での完全な有機物除去は困難であり、「粉塵障害防止規制」により、粉末状の活性炭の取り扱いは難しく、作業時間の長さなどから生じる作業者への負担も大きな課題となっている。

このような背景の中、オゾンとファインバブルを融合したオゾンファインバブル（以下, OFB）により、廃棄物を一切出さない処理法としてオゾンマイクロバブル（以下，OMB）処理によるめっき液中の有機添加剤の分解を試みた。
本報では、硫酸銅めっき液および電気ニッケルめっき液の検討結果を報告する。