COMSOL Multiphysics®、MEMSデバイス、マルチフィジックス的な相互作用、マイクロスケールデバイスにおける音響効果

マイクロ電気機械システム（MEMS）デバイスは、電磁場、圧電効果、熱構造などのマルチフィジックス的な相互作用を利用しています。COMSOL Multiphysics®は、複数の物理現象の連成解析と単一物理解析の両方に対応するシミュレーションプラットフォームであり、MEMSデバイスの研究・開発および設計に最適です。本講演では、COMSOL Multiphysics® で利用可能な、さまざまな MEMS デバイス設計のためのマルチフィジックスシミュレーションをご紹介するとともに、MEMS デバイスにおいて重要となるマイクロスケールデバイスにおける音響効果について解説します。