精密噴霧で、ナノ表面を極める、材料を無駄にしない、次世代コーティング技術

数十年前より歩んできた電子基板へのコンフォーマルコーティングや、半導体分野での機能性材料等の薄膜塗布に関し、数種の特許を取りながら塗布技術の発展に貢献してきましたが、今回さらにナノコーティング分野での新工法を発表します。

星形エアーキャップという特殊加工ノズルを使用した旋回流霧化による微粒子形成に、静電印加を加えてコーティングすることにより、複雑な被塗面、アンダーカットを有したエッジ等への付周りが向上し抜群のカバーレッジを得ます。各種機能性液体を静電印加させ、旋回流円形パターンを施して静電微粒子形成によりナノオーダーの成膜を形成します。

セラミクスや金属など，鏡面研磨した任意材料の基板を室温接合します．

同氏は，原子拡散接合法と呼ばれる室温接合技術を提案し，企業との共同研究を通して，その社会実装に努めている．鏡面研磨した任意材料の基板を室温で接合できるこの技術は，既に，一部の複合ウエハや電子デバイスの生産にも使われている．この研究により，令和7年度 科学技術分野の文部科学大臣表彰 科学技術賞（研究部門）を受賞している．

我々が提案した原子拡散接合法ADBは，無機薄膜（金属膜，酸化膜，窒化膜等）を用いた室温接合技術です．セラミクスや金属など，鏡面研磨した任意の材料のウエハや基板を室温接合できます．ADBは，既に，複合ウエハや電子デバイス等の生産にも使われています．今回は，更に発展した新しいADBのご紹介も含め，原子拡散接合法ADBの技術概要と応用例をご紹介します．