千葉工業大学
工学部　先端材料工学科
教授　博士（工学）

坂本 幸弘氏

1995年3月　千葉工業大学　工学研究科　精密機械工学専攻　博士課程修了　博士（工学）
1987年4月〜1992年3月　株式会社日本製鋼所
1995年4月〜　千葉工業大学　助手、講師、助教授を経て教授
専門　　　真空、薄膜、表面工学

ドライプロセスを中心とした表面工学に関する研究を行っている。
具体的には、ダイヤモンドや窒化炭素といった新奇材料の創成、窒化や浸炭といった表面改質、スパッタリングによる機能性薄膜の作製などを行っている。
また、産業分野への適用を目的に、ダイヤモンド電極を用いた電解硫酸を用いた各種表面改質についても検討している。
本講演では、当研究室で行ってきたドライプロセスを中心に、動向について概説する。

【プレゼンテーション出展者】※発表予定順
不二WPC／モル株式会社／ネオス

※1社15分（質疑応答含む）
　名刺交換等は各社プレゼンテーションの後、セミナー会場内（出展者ブース／商談スペース等）にてお願いいたします。
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