本シンポジウムでは、MEMS、センサの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー(半導体、5G、IoT、DX、ロボット、AIなど)にフォーカス。次世代MEMS・半導体市場、最先端のMEMS・半導体技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性について、政策動向や最新情報を発信します。
会場 | : | シーズ&ニーズセミナーA(東4ホール) |
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会場 | : | シーズ&ニーズセミナーA(東4ホール) |
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MEMSの特徴は小さいことである。MEMSは高い周波数にまで応答が及び時間分解能の高い情報を得られ、アレイ状に多数を配置して空間分解能の高い情報を得ることができる。一方で、アプリによってはサンプリングデータ量が大きくなりがちだ。このデータをクラウドにアップロードするより、その中から特徴的な情報を抽出してアップロードしたり、あるいは、その情報をローカルに利用すると、時間応答性のよいシステムになろう。さらに、センサを置く場所、環境の個性に合った補正がオンサイト、リルタイムにできるだろう。例をあげながら次世代のMEMSチップと半導体の融合一体化チップを考えてみたい。
会場 | : | シーズ&ニーズセミナーA(東4ホール) |
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2001/4(独)産業技術総合研究所 入所 有機半導体を用いた薄膜トランジスタ・プリンテッドエレクトロニクス・フレキシブルエレクトロニクスのプロセス・デバイス関連研究開発に従事
2012/7-2013/6 (独)新エネルギー・産業技術研究開発機構(NEDO) 電子・材料・ナノテクノロジー部 主任研究員
2024/4-現在 現職
2017/10-現在 埼玉大学大学院理工学研究科 連携教授 併任
産総研で開発してきたセンシング技術、センサ製造技術とその適応事例のご紹介と、今後それらの技術を活かした半導体産業への貢献、展望についてご紹介致します。
会場 | : | シーズ&ニーズセミナーA(東4ホール) |
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2005年ローム株式会社入社し、酸化物半導体の研究開発に従事後、MEMS技術を応用したガスセンサ、及び受動部品の研究開発に取り組む。2021年より現職。
水素エネルギーは、燃焼時に二酸化炭素を排出しないため、カーボンニュートラルの実現に大きく貢献すると期待されている。現在、水素の生成・貯蔵・流通・利用の各段階で様々な方式が提案されており、その社会実装のためには幅広い濃度域に渡る高精度なセンシングと高い信頼性を備えた水素センサが求められている。本講演では、ロームが取り組む高精度熱伝導式水素センサの技術と開発の方向性、期待されるアプリケーションについて紹介する。