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TIA MEMSウィンターセミナー/MEMS講習会
会議棟 （606会議室）2025年1月30日（木）【主催】TIA MEMS マネージメントグループ（MG) / 一般財団法人マイクロマシンセンター【開催時間】10:30-12:00無料 事前登録これからのMEMSがますます発展するために、主に学生や若手技術者向けにTIA※の次世代人材育成事業に協力して実施するTIA-MEMSウインターセミナー MEMS講習会を開催します。本講習会では、MEMS材料やセンサデバイスの最新技術についてMEMS初心者にもわかりやすく紹介します。
※TIA 産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、筑波大学、高エネルギー加速器研究機構、東京大学及び東北大学が協力して運営するオープンイノベーション拠点2025年1月30日（木） 10:30-11:00無料 事前登録
見えない分子を可視化するMEMS分子認識センサ会場 ： 会議棟 （606会議室） 
豊橋技術科学大学
次世代半導体・センサ科学研究所
教授
高橋 一浩氏
【講演概要】本学では全国の大学で唯一、半導体LSI-MEMSの一貫製造が可能な施設を有しています。この施設で開発したMEMSセンサとして、家庭において体温系や体重計の感覚で病気を測るセンサシステムや感染症対策のための環境計測型センサを紹介します。
2025年1月30日（木） 11:00-11:30無料 事前登録
マルテンサイトエピタキシー会場 ： 会議棟 （606会議室） 
株式会社Gaianixx
CSO
木島 健氏
【講演概要】我々は、マルテンサイト・エピタキシーを用いて、従来は困難とされてきた多層構造での高品質単結晶化を「多能性®中間膜HfZrO2(HZO)」による「動的格子マッチング」で可能とした。さらにこの技術を応用し、各種機能膜（圧電材料、金属材料、化合物半導体材料等）を８インチSi(100)基板上に於いて、それぞれ単結晶薄膜化を実現した。現在、本技術の各種デバイス応用開発を加速させており、MEMSをはじめとする電子デバイスの飛躍的な性能改善を確信している。
2025年1月30日（木） 11:30-12:00無料 事前登録
低消費電力MEMSセンサ・回路の協調最適設計技術会場 ： 会議棟 （606会議室） 
産業技術総合研究所 先端半導体研究センター
主任研究員・ラボチーム長
秋田 一平氏
【講演概要】IoT時代におけるセンサ・アクチュエータにおてい、その機能や性能を効率よく引き出すためには、アナログフロントエンド回路が重要な役割を担っている。本発表では低消費電力設計のためのセンサ・回路の最適な協調設計手法について紹介する。