未来の光学イノベーションを支える精密パターニング

UVナノインプリントとは、樹脂をモールド（型）に基板で挟み込み、ナノメートルオーダーのパターンを転写する微細加工技術です。加工工程は、塗布、プレス、転写、離型、の4つの要素からなり、非常に単純なプロセスで名のサイズの加工が完成します。装置が簡易で高スループットが期待されるため、低コストな微細加工技術として期待されています。半導体デバイス、光学部材など多方面の分野で、実用化への取り組みが進んでいます。