ローム
| 出展展示会 | ： | MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2025 |
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| 小間番号 | ： | 5D-05 |
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弊社のプロセス立案と設計サポートで、お客様の開発から大規模製造までをトータルでサポートいたします。
ロームは自動車やスマートフォンに使用されるMEMS製品の中でも、特に「圧電PZTアクチュエータ」分野において、材料特性とその加工技術で世界をリードしています。この技術を生かし、超小型・高性能な新しいMEMS開発を目指す企業のニーズに応えるため、圧電PZTとSi MEMS専用の製造ラインを構築しております。
また、ファウンドリ以外にも次世代汎用センサ(MEMSガスセンサ、テラヘルツ)をご紹介いたします。
製品・サービス情報
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1薄膜ピエゾMEMSファウンドリ
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◇生産設備の設計、自作、改造も行っており、MEMSに最適なラインを構築しています
◇LSI製品の量産経験と圧電MEMSに必要な製品開発を融合し、高歩留まり、高信頼性な量産技術があります
◇世界最高水準の薄膜PZT膜（d31=260pm/V）をお客様のデバイスへ実装可能です
◇日本国内、海外を問わず数多くの共同開発実績があります
MOVIE
製品・サービスカテゴリー材料電子・磁性・金属・無機材料加工機械・装置／評価・検査微細加工（前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー 等）、評価・検査・計測機械・技術、微細加工（後工程、実装・パッケージング）デバイスマイクロ流路、アクチュエーター、エナジーハーベスティング、マイクロエネルギー源、RF-MEMS、光MEMS（ディスプレー、スキャナー 等）、MEMSミラーサービス・ビジネスモデル試作・受託加工サービス、MEMSファンドリー応用分野電子・磁性・金属・無機材料、半導体・電子部品、光学部品・デバイス、精密機器・産業機械・ロボット、自動車・運輸、医療機器、電気・電子機器・総合電機、印刷・加工業・受託加工業、医療・医薬品
課題別ソリューションセンシング、省人化・自動化・最適化、生産性向上
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2MEMSガスセンサ
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MEMSガスセンサ（R＆D）は、気体熱伝導式センシングの特長である長期信頼性に加えて、小型で省電力であるという特長を併せ持っています。さらに加えて高速測定、広範囲で高精度な測定を実現した画期的な技術をも搭載しております。
是非、ロームブースへご来場いただき測定デモをご体験ください。お客様の新しいアプリケーション実現の可能性を感じてただく機会を提供させていただきます。
製品・サービスカテゴリーデバイス車載センサー、環境センサー（温湿度、ガスセンサー）、次世代センサーアプリケーション環境・エネルギー、道路／産業インフラモニタリングシステム、健康・医療、ライフサインエス・ウエアラブル・スポーツ、スマート・モニタリングシステム応用分野自動車・運輸、医療機器、分析・計測機器、電力・ガス・石油・その他エネルギー
課題別ソリューションセンシング、脱炭素・カーボンニュートラル、SDGs
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3テラヘルツ波発振・検出デバイス
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■デバイスタイプ：テラヘルツ波の発振およびテラヘルツ波の検出が可能な共鳴トンネルダイオード素子（Resonant Tunneling Diode）
■動作周波数：320GHz(Typ)
■出力：～約-10dBm
■高感度かつ高速な検出器
■一般的な逓倍器に比べ1/1000の消費電力：約10mW
■広帯域で変調可能
■超小型パッケージ：4.0mm×4.3mm×3.25mm
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製品・サービスカテゴリーデバイス次世代センサー、その他センサ、センサーモジュール応用分野半導体・電子部品、電気・電子機器・総合電機、情報・通信・ネットワーク、その他：次世代汎用センサ
プレスリリース
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
| 企業名 | ： |
ローム
モジュール事業本部 |
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| 住所 | ： | 〒 615-8585 京都府 京都市右京区西院溝崎町21 |
| TEL | ： | 070-2911-3125 |
| URL | ： | https://www.rohm.co.jp/foundry-service/thin-film-piezoelectric-mems |
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