I-PEX
| 出展展示会 | ： | MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2025 |
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| 小間番号 | ： | 5D-02 |
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単結晶圧電薄膜成膜技術とMEMS加工技術で、高性能な圧電MEMSデバイス試作から量産までサポートいたします。
圧電MEMSの受託加工サービス内容の紹介、単結晶圧電薄膜（PZT、窒化アルミニウム（AlN））成膜基板の展示、MEMS技術で開発したデバイス（ニオイセンサ等）の展示及びデモンストレーションを行う予定です。是非ともご来場の上、お立ち寄りください。
製品・サービス情報
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1ZrO2真空蒸着装置
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ZrO2バッファー層成膜用蒸着装置を紹介。
当社ZrO2バッファー層成膜装置を使用し、シリコン基板上にバッファー層を成膜することで、その上に成膜するその他の圧電材料を単結晶に成長することが可能。まだ開発中だが、早い段階で出荷できるように準備進めている。
製品・サービスカテゴリー加工機械・装置／評価・検査微細加工（前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー 等）応用分野半導体・電子部品、光学部品・デバイス
課題別ソリューションセンシング
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2単結晶圧電薄膜ウエハー（PZT、窒化アルミニウム（AlN））
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優れた単結晶圧電薄膜の成膜技術により開発したZrO2 Buffer（下地層）を使用することで、上に成膜する様々な圧電材料を単結晶化し、高性能化することができる優れた圧電MEMS用ウエハー。PZT
（チタン酸ジルコン酸鉛）、窒化アルミニウム（AlN）単結晶ウエハを展示。
製品・サービスカテゴリー材料その他機能性材料／素材：単結晶ウエハー応用分野半導体・電子部品、光学部品・デバイス
課題別ソリューションセンシング
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3MEMSファウンドリーサービス
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圧電MEMS試作から量産までの受託加工、特定のMEMS加工工程など、ご要望に応じて柔軟な対応が可能です。
製品・サービスカテゴリー加工機械・装置／評価・検査微細加工（前工程、エッチング、成膜、リソグラフィー 等）応用分野半導体・電子部品、光学部品・デバイス、自動車・運輸
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4ニオイセンサ noseStick BB
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圧電薄膜PZTを応用したMEMSデバイス「ニオイセンサ」から、Bluetooth Law Energyによるワイヤレス化、Battery駆動の『noseStick BB』を出展。専用アプリケーション（iOS）のデモも体験いただけます。
製品・サービスカテゴリーデバイスバイオセンサー・バイオ分析・Labonachip、機械量センサ（圧力・加速度・ジャイロ）、アクチュエーター、コンボセンサー、環境センサー（温湿度、ガスセンサー）、次世代センサー
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
| 企業名 | ： |
I-PEX
技術開発統括部 |
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