セーレンKST
| 出展展示会 |
: |
MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2025 |
| 小間番号 |
: |
5B-11 |
SOIウェーハ ~少量多品種/短納期対応~
・SOIウェーハ
4、6、8インチのSOIウェーハを生産しています。
お客様の任意の構成:ウェーハの仕様、厚み(活性層/BOX層/支持層)、
ベア/加工済みウェーハ等ご支給品を用いたSOI化加工が可能です。
・熱酸化膜受託加工
12インチまでのサイズに加工が可能です。
弊社にて在庫しているウェーハへの膜付き販売、ご支給基材への受託加工も可能です。
特殊な形状のウェーハへの成膜も開発致します。
製品・サービス情報
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4、6、8インチのSOIウェーハを生産しており、試作から量産まで対応いたします。一般的なSOIウェーハだけでなく、支持基板にキャビティ加工を施した「Cavity-SOI」や、独自の超厚膜熱酸化膜加工を利用して厚いBOX層を持たせた「Thick-BOX SOI」なども提供しています。また、ウェーハの仕様や厚み(活性層/BOX層/支持層)のカスタマイズ、指定した支給材や加工済みウェーハでのSOI化加工も可能です。
製品・サービスカテゴリー
デバイス
車載センサー、バイオセンサー・バイオ分析・Labonachip、マイクロ流路、MEMSマイク、機械量センサ(圧力・加速度・ジャイロ)、アクチュエーター、コンボセンサー、エナジーハーベスティング、マイクロエネルギー源、電子コンパス、RF-MEMS、光MEMS(ディスプレー、スキャナー 等)、MEMSミラー、環境センサー(温湿度、ガスセンサー)、次世代センサー、触覚センサー、フレキシブルセンサー、発振子・発振器・タイミングデバイス、高周波フィルタ、その他センサ、センサーモジュールサービス・ビジネスモデル
試作・受託加工サービス
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12インチまでのサイズに対応しており、最大で20μmまで成膜することが可能です。
ベアウェーハだけでなく、Cavityが形成されているウェーハへの成膜も行っております。
製品・サービスカテゴリー
デバイス
車載センサー、バイオセンサー・バイオ分析・Labonachip、マイクロ流路、MEMSマイク、機械量センサ(圧力・加速度・ジャイロ)、アクチュエーター、コンボセンサー、エナジーハーベスティング、マイクロエネルギー源、電子コンパス、RF-MEMS、光MEMS(ディスプレー、スキャナー 等)、MEMSミラー、環境センサー(温湿度、ガスセンサー)、次世代センサー、触覚センサー、フレキシブルセンサー、発振子・発振器・タイミングデバイス、高周波フィルタ、その他センサ、センサーモジュールサービス・ビジネスモデル
試作・受託加工サービス
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。