世界初の革新技術！リサイクル率90％以上の圧倒的な省エネを実現！エキシマレーザーガス回収生成装置

本製品は、半導体露光プロセスにおけるエキシマレーザーで使用されるネオンガスリサイクル装置である。エキシマレーザーは、半導体製造・医療現場にて多く使用されているが、ここで必要なネオンガスは希少なガスであり、ほぼ輸入に依存し、使用後は、廃棄されている。またガスの製造には工業的に多くの電力エネルギーが必要な深冷分離法しかない。本技術は、使用後のネオンガスを世界で初めてリサイクル化することに成功し、その回収再生率は90％以上である。