An Innovative Atmospheric Thin Film Fabrication Technique driven by Precise Design and Synthesis of Inorganic Nanoparticles.

情報へのオンデマンドアクセスに対するニーズが急速に高まっている．電子デバイスの小型化・フレキシブル化は，そのニーズに応える鍵である．それ故，軽量フレキシブル基板を用いたデバイス製造法注目が集まっている．Roll to Roll方式は，その代表的なものであり，生産性が高く環境負荷が低いという利点も有する．
ニコンでは，これらの利点に着目し，Roll to Roll方式への展開を視野に“ナノ粒子ミストデポジション法”を開発してきた．この手法では，ナノ粒子分散液をμmオーダーでミスト化し，基板に付着・乾燥させることで緻密なナノ粒子薄膜とする．常温・大気圧下での製造法であるため，ゼロエミッション達成にも貢献する．ニコンは，東北大学と共同で，この手法に最適なナノ粒子の合成法の開発にも取り組んでいる．
本講演では，代表的な透明導電膜であるITO薄膜を例に，その開発事例を紹介する．さらに，R&D用装置および将来展望についても紹介する．