ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
渡辺 敦史氏
【講演概要】
ハイデルベルグ・インストルメンツ社が提供するナノファブリケーション用装置を3機種ご紹介します。マスクレス直接描画装置 DWL66+、サーマルプローブリソグラフィー装置 ナノフレーザー、2光子重合法での3D Printer MPO 100。