会議棟（1階102会議室）
2023年2月2日（木）
TIA MEMS ウインターセミナー
MEMS講習会「MEMS最前線 大学におけるMEMS研究の面白さ」
【主催】TIA MEMS マネージメントグループ（MG) / 一般財団法人マイクロマシンセンター
本セミナーは学生や若手研究者が最新の知識と技術を修得し、分野横断的な交流を図る機会となることを目的としています。その結果、MEMS産業の裾野を広げ、産業推進の一助となるべく開催しております。
今回は、新たにTIAに加わった、東京大学、東北大学、そしてTIAオリジナルメンバーの筑波大学における、MEMSに関係する研究の取組みや最新の研究成果を、MEMS初心者にもわかりやすく紹介します。
TIA＊ 産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、筑波大学、高エネルギー加速器研究機構、東京大学及び東北大学が協力して運営するオープンイノベーション拠点
化学、バイオと微細加工
10:30-11:00 事前登録
会場： 会議棟（1階102会議室）
筑波大学
数理物質系
教授
鈴木 博章氏
【講演概要】
化学、バイオ分野での新分野開拓を目指したデバイスの微小化、集積化、高機能化が進んでいる。本講演では、これらを実現するための微細加工技術と化学、バイオとの接点について、実例をもとに紹介する。
自分で考えて、作って、評価できる、MEMSの面白さ
11:00-11:30 事前登録
会場： 会議棟（1階102会議室）
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
センター長・教授
戸津 健太郎氏
【講演概要】
様々な材料や工程を組み合わせて、自分で形にして評価する、MEMSの醍醐味を味わいませんか？多くのノウハウが必要ですが、全国の共用施設が支援します。講演では東北大のクリーンルームの様子も生中継で紹介する予定です。
作って測って世界初
11:30-12:00 事前登録
会場： 会議棟（1階102会議室）
東京大学 大学院
工学系研究科
教授
附属システムデザイン研究センター 基盤デバイス研究部門
研究部門長
三田 吉郎氏
【講演概要】
東京大学武田先端知ビルスーパークリーンルームで、学生と一緒に世界初の半導体電子機械を生み出します。狙いが当たって世界最高のＭＥＭＳが出来たときの喜びは格別です。