新型PVDコーティング装置 AIP-iXの紹介

13:10-13:55 登録不要 無料

株式会社 神戸製鋼所

機械事業部門 新事業推進本部 技術部 高機能室

課長

高橋 哲也氏

【講演者プロフィール】

専門は材料工学。大学および企業にて15年以上わたり、スパッタ法、真空アーク法、プラズマCVD法などの真空成膜による硬質窒化膜やDLCなどの皮膜材料開発およびプロセス開発に携わる。

【講演概要】

切削工具分野においては、工作機械の高性能化に伴って難削材の高速加工など、より厳しい加工条件への対応ニーズが時代と共に増加してきており、工具のPVD皮膜に対しても性能全般の向上に対する要求が高まっています。
切削工具向けの代表的な皮膜のAlCrNは皮膜中のAl含有量が多いほど硬さと耐酸化性に優れ、高速切削や高切込みなどの難加工条件に適しますが、Al含有率がおよそ65at.%以上になると、皮膜構造が立方晶から六方晶へ変化して性能が低下する課題がありました。
この課題に対し「AIP-iX」では、新開発した装置や成膜プロセスにより、AlCrN皮膜中のAl含有量が高くても立方晶を維持することで硬質な皮膜の成膜が可能となり、性能に特化したハイエンド工具と比較して約1.5倍の寿命向上を確認しました。
本セミナーでは当社のPVD真空成膜技術と新型PVD装置「AIP-iX」で成膜されたAlCrN皮膜の特徴について紹介します。