製品・サービス 1

回転CVD装置

粉末サンプルの表面にカーボンなどの成膜を行う回転式の熱CVD装置です。この装置の特徴は、炉心管の回転によってサンプルを撹拌させることで、より均一なCVD処理や熱処理を施せる点にあります。炉心管の径や導入するガス種など、ご要望に合わせてカスタムいたします。

製品・サービス 2

粉末蒸着装置

粒状や粉末タイプの試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置です。 蒸発源を上方から下向きに蒸発させることで、固定できない粒子状試料への蒸着を可能にしました。 当社発案のバイブレーション試料台を搭載し、試料を振動・回転させながら蒸着できます。 粒子の回転により、粒子各面に均一な蒸着が可能で、蒸着斑が大幅に改善できます。

製品・サービス 3

CVDカーボンコート依頼加工

ご提供いただいたサンプルにカーボンコート処理を行います。弊社所有の回転CVD装置、長尺CVD装置もしくはコールドウォール型CVD装置を用いて、成膜を行うサービスです。

連絡先情報

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