製品・サービス 1

Annealsys社製　RTP装置

フランス ANNEALSYS社は、世界中の研究所及び企業向けに高性能・高品質の研究開発及び量産用の高速熱処理（RTP）装置とDLI-CVD/DLI-ALD装置を提供しております。
お客様のアプリケーション・ニーズに合わせた適切な装置のご提案や一部装置をカスタマイズする事も可能です。

製品・サービス 2

scia Systems社製　イオンビームトリミング装置 、イオンビームミリング装置

ドイツ scia systems社は、高性能のイオンビームとプラズマ技術に基づいた最先端且つ高精度のコーティング、エッチング、プラズマクリーニング装置を提供しております。それそれの装置はモジュール式に設計され、開発用及び量産用として構成されております。 また、シリコンベースのウエハ基板やキャリア上の小サンプルの基板まで対応できます。

製品・サービス 3

Veeco社製　ALD装置

アメリカ Veeco社のALD部門 (旧CambridgeNanoTech社)は、世界中の研究開発機関及び製造現場に550台以上のALD（原子層堆積）装置を供給しております。それらの装置を使用して発表された公的な文献は2000以上にもなります。
これからもALD装置のリーディングサプライヤーとして、蓄積された技術力と新しい開発力でALD装置を供給いたします。

製品・サービス 4

Plasmionique社　カスタム プラズマテクノロジー装置

カナダPlasmionique社は、テーブルトップの様なコンパクトな研究開発用及び小規模量産設備向けに、プラズマ、レーザー及び真空をベースとした装置の設計・販売をしております。
それらの装置は、お客様のご要望によりカスタマイズが可能な装置構成となっております。新しいシステムやプロセス開発を検討の際にはお問合せ下さい。

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。