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ハイテック・システムズ

小間番号 : 1J-02
出展展示会 : nano tech 2023
出展ゾーン : 加工:ナノファブリケーションゾーン

出展のみどころ

ハイテック・システムズは先端デバイス関連向けに欧米諸国の新規MEMS製造装置の販売・アフターサービスを行っております。
本展では研究開発用から量産設備用のランプアニール、ALD/CVD成膜、イオンビーム/RIDエッチング等の装置を出展しご案内いたしますので是非ブースまでお立ち寄りください。


製品・サービス 1
製品・サービス 2
製品・サービス 3
製品・サービス 4

製品・サービス 1

お問合せチャット

Annealsys社製 RTP装置

フランス ANNEALSYS社は、世界中の研究所及び企業向けに高性能・高品質の研究開発及び量産用の高速熱処理(RTP)装置とDLI-CVD/DLI-ALD装置を提供しております。
お客様のアプリケーション・ニーズに合わせた適切な装置のご提案や一部装置をカスタマイズする事も可能です。


製品・サービスカテゴリー
【加工プロセス】
その他(和文):アニール(熱処理)

製品・サービス 2

お問合せチャット

scia Systems社製 イオンビームトリミング装置 、イオンビームミリング装置

ドイツ scia systems社は、高性能のイオンビームとプラズマ技術に基づいた最先端且つ高精度のコーティング、エッチング、プラズマクリーニング装置を提供しております。それそれの装置はモジュール式に設計され、開発用及び量産用として構成されております。 また、シリコンベースのウエハ基板やキャリア上の小サンプルの基板まで対応できます。


製品・サービスカテゴリー
【加工プロセス】
電子・イオンビーム・EUV露光・プラズマ加工

製品・サービス 3

お問合せチャット

Veeco社製 ALD装置

アメリカ Veeco社のALD部門 (旧CambridgeNanoTech社)は、世界中の研究開発機関及び製造現場に550台以上のALD(原子層堆積)装置を供給しております。それらの装置を使用して発表された公的な文献は2000以上にもなります。
これからもALD装置のリーディングサプライヤーとして、蓄積された技術力と新しい開発力でALD装置を供給いたします。


製品・サービスカテゴリー
【加工プロセス】
薄膜・コーティング

製品・サービス 4

お問合せチャット

Plasmionique社 カスタム プラズマテクノロジー装置

カナダPlasmionique社は、テーブルトップの様なコンパクトな研究開発用及び小規模量産設備向けに、プラズマ、レーザー及び真空をベースとした装置の設計・販売をしております。
それらの装置は、お客様のご要望によりカスタマイズが可能な装置構成となっております。新しいシステムやプロセス開発を検討の際にはお問合せ下さい。


製品・サービスカテゴリー
【加工プロセス】
電子・イオンビーム・EUV露光・プラズマ加工

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。

ハイテック・システムズ

〒 2220033
神奈川県 横浜市港北区新横浜3丁目19番5号 新横浜第二センタービル12階

TEL : 045-478-6511
URL :
https://www.hightec-sys.com/
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