製品・サービス 1

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微小デバイス材料の強度・耐久性評価/可視光の偏光検出を可能にする強誘電体材料

耐久性・信頼性に優れるMEMS等の微小デバイスの設計・製造では、使用する材料の機械的性質（強度、破壊、疲労特性）が重要となる。本展示では、我々が開発した微小材料試験装置とその計測結果の例を紹介する。

偏光イメージングは物質の凹凸や歪を可視化できる技術である。従来の強誘電体は可視光領域での光応答が弱いことが課題であったが、我々は可視光領域で大きな光電流の偏光依存性を示す強誘電体材料を開発した。

微小デバイス材料の強度・耐久性評価_強誘電体光起電力効果を利用した偏光センシング.pdf

製品・サービス 2

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MEMS技術を用いて製作した医療・バイオ応用デバイス/貼り付け可能なフレキシブル超音波センサ

フォトリソグラフィを核としたMEMS技術を用い製作した医療・バイオ応用デバイス、特に切り紙構造を適用し平面～立体形状に動的に変形可能なマイクロフィルタやシングルセルレベルで細胞をパターニングできる技術などを紹介。

フレキシブルで貼付可能な超音波センサを開発。圧電体はゾルゲル複合体、他は柔軟性を優先し、生体へは適合性を考慮しシリコーンゴムを選択。低コストでストレスフリーなためホームケア応用に可能性がある。

マイクロ・ナノ技術と健康・医療・バイオ技術の融合研究_貼り付け可能なフレキシブル超音波センサ_compressed.pdf

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