会議棟（6階607+608会議室）
2022年01月28日（金）
MEMS協議会フォーラム MMC創立30周年記念講演会
第1部 TIA-MEMSウィンターセミナー MEMS講習会 「MEMS分野の産業動向と注目技術」
【主催】一般財団法人マイクロマシンセンター
【開催時間】10:15-11:45
事前登録
無料
第1部 これからのMEMSが益々発展するために、主に学生や若手技術者向けにMEMS講習会を開催します。本講習会では、初めに、マイクロマシンセンター産業動向調査委員会によるMEMS技術の進展の歴史と、今後20年のMEMS関連技術の進展予測した調査を報告します。次に、近年注目されている環境発電デバイス（エナジーハーベスタ）などの新機能MEMSに使われるエレクトレット技術と、長年MEMSの国際会議運営に携わってきた先生によるMEMSの研究開発動向について、わかりやすく解説いたします。
産業動向調査委員会報告「MEMSの過去30年と今後の20年の技術展望」
10:15-10:45 事前登録
マイクロマシンセンター
専務理事
長谷川 英一氏
カリウムイオンを用いたエレクトレット技術と新機能MEMSデバイス
10:45-11:15 事前登録
静岡大学
電子工学研究所
教授
橋口 原氏
【講演概要】
アルカリ金属汚染を排除することで半導体産業は成功したともいえるが、これを逆手にとると、シリコンMEMSデバイスに半永久帯電膜、すなわちエレクトレット膜を形成することができる。本講演では本エレクトレット開発の経緯と帯電原理の説明から始まり、従来MEMSデバイスでは実現できない、新しい機能のMEMSデバイスについて紹介したい。
35年を超えて発展するMEMS関連研究開発の最新動向
11:15-11:45 事前登録
立命館大学
理工学部
教授
小西 聡氏
【講演概要】
マイクロマシンセンターの国内外技術動向調査委員会では、主要国際会議の定点観測により、MEMS関連研究開発動向の調査分析を継続実施しています。当該委員会の委員長である講演者より、今年度の調査対象学会であるTransducers2021の調査結果とともに、35回目を迎えるMEMS2022の速報を交え、MEMS関連研究開発動向について報告します。