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ASTEC/SURTECHセミナー会場 (東3ホール)

2022年01月27日(木)

SURTECH2022セミナー

 
CVDによる導電性ダイヤモンドの合成と電極としての応用
10:30-11:10 事前登録
会場: ASTEC/SURTECHセミナー会場 (東3ホール)

尾形 聡

DiaM株式会社

技術部

尾形 聡

【講演者プロフィール】

1998 - 2017.10 月島機械(株)
2017.11 - 2021.4 (株)MPS
2021.4 DiaM(株)


【講演概要】

ダイヤモンドは元来絶縁体であるが、ホウ素をドープすることで導電性を付与することができるため、シリコン基板などにコーティングすることで電極として使用することができる。導電性ダイヤモンドは化学的安定性が高いことに加え電位窓が広いという特徴を持つため、強酸性溶液下での電気分解や、従来電極では難しかった物質の分解や合成が可能となる。今回は導電性ダイヤモンドの合成方法と導電性ダイヤモンド電極としての使用例を紹介する。

電解硫酸と工業的応用
11:10-11:50 事前登録
会場: ASTEC/SURTECHセミナー会場 (東3ホール)

永井 達夫

ミクロエース株式会社

研究開発本部

本部長

永井 達夫

【講演者プロフィール】

1984-2002 :㈱日本製鋼所
2002-2018 :栗田工業㈱
2018-present:ミクロエース㈱
2016 :博士(工学)


【講演概要】

硫酸を電気分解すると、ペルオキソ二硫酸という酸化還元電位が2.01Vの強酸化剤を得ることができる。この強酸化剤を利用して、化学反応の中で重要な酸化還元反応を、通常の酸化剤よりも促進することが可能である。
その応用例として、半導体製造プロセスにおけるフォトレジスト剝離、シリサイド残渣除去があり、その概要を報告する。また、新たな応用に向け取り組んでいるアルミニウム陽極酸化についても紹介する。

電解硫酸を前処理に用いたプラめっき(仮) クロム酸を用いないプラスチックめっき各種前処理法と加熱硫酸及び電解硫酸を前処理に用いたPP樹脂への高密着めっき法
特になし
11:50-12:30 事前登録
会場: ASTEC/SURTECHセミナー会場 (東3ホール)

梅田 泰

関東学院大学

材料・表面工学研究所

講師

梅田 泰

【講演者プロフィール】

2019年千葉工業大学にて博士(工学)の学位を取得。1979年から2010年まで大成工業、横浜プレシジョン、野毛電気工業、セミツールジャパンにて車載、宇宙衛星、半導体前後工程の表面処理技術開発に従事し、2010年から関東学院大学 材料・表面工学研究センター研究員、材料・表面工学研究所の助教を経て、2019年から同研究所講師となり、現在に至る。


【講演概要】

ポリプロピレン樹脂へのめっきの前処理方法として、クロム酸を含む機械的表面粗面化およびエッチャントが、良好な接着を得るために従来から使用されてきた。 本研究では、クロム酸を含む薬品を使用せず、密着性の高い前処理法の問題点を解決するための研究を行った。 本講演では、硫酸に浸漬した後、電解硫酸処理を用いた従来の方法に代わる新しい前処理について報告する。 本研究により、表面の微細なアンカーとの密着性を確保するための親水性基とカルボニル基の形成が可能となり、高い密着性が得られた。 したがって、この環境にやさしい表面改質法は、産業用途で使用されることを期待する。