名古屋大学・Mipox株式会社
出展展示会 : nano tech 2022
出展ブース : 新エネルギー・産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）
出展のみどころ
半導体結晶のキラー欠陥自動検査システム
次世代半導体デバイスでは結晶欠陥が性能・歩留り劣化の原因となります。我々は、SiC（炭化ケイ素）基板中の結晶欠陥を光学測定により観察する装置を開発し、数理アルゴリズムによってこれらの欠陥の位置を自動検出するシステムを開発しました。光学測定だけでなく、その他の観察画像からデータを抽出するアルゴリズムの設計でもご協力できます。【名古屋大学未来材料・システム研究所 原田 俊太】
製品・サービス 1
欠陥検出システム
Mipox株式会社の偏光観察装置XS-1と欠陥検出アルゴリズムにより、キラー欠陥の自動検出を実現。その他観察データの自動検出アルゴリズム設計もご協力できます。【名古屋大学未来材料・システム研究所 原田 俊太】
製品・サービスカテゴリー
【ナノ材料】
半導体材料【ナノ評価・計測・分析・設計】
電子顕微鏡(SEM,TEM)、粒径・分布計測、評価・計測設計ツール、その他（和文）：光学観察連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
名古屋大学・Mipox株式会社
名古屋大学 未来材料・システム研究所 原田 俊太
〒 464-8601
愛知県 名古屋市千種区不老町
愛知県 名古屋市千種区不老町