製品・サービス 1 ブース内プレゼン 資料PDF

ケミカルドライエッチャー　CDE-80R

独自のダウンフローと最適化されたプロセス室を用いることで、プラズマダメージのないエッチングが可能な等方性のエッチング装置です。
コーナーラウンディングやスムージングを得意とし、3インチから8インチまでの幅広いウェ－ハへの対応が可能です。また、メンテナンス頻度が少ないことも特徴です。
CDEシリーズは12インチ対応の装置もございます。

(最終版)A4パンフレット0112.pdf

製品・サービス 2 ブース内プレゼン

枚葉式洗浄装置　SC series

200㎜または300㎜向けの枚葉式ウェーハ洗浄装置を扱っております。お客様のスペース要求、生産計画に合わせて、様々な装置構成のラインナップ提供が可能で、研究開発用の１スピン装置から、量産向けに設備投資規模に合わせたスピン処理台数（２、３、４、６、８）の提案、様々な薬液の搭載要求に対応可能です。
またオプションとして、ランニングコストの改善のため、ＢＨＦ等の薬液のリサイクル・リユースも可能となっています。

製品・サービス 3 資料PDF

CDE series 受託加工サービス

CDE_評価紹介資料.pdf

製品・サービス 4 資料PDF

電子部品絶縁膜用スパッタ装置　CCS　Series

高密度な絶縁膜を成膜する装置です。弊社独自の後酸化方式により、ハイレートで、膜厚均一性の良い成膜が出来ます。SiO2やAl2O3などの厚膜や積層膜を希望されるお客様は、是非弊社まで、お問合せ下さい。

20211117_MEMS展2021_CCS.PDF

製品・サービス 5 資料PDF

電子部品用スパッタ装置　BM Series

本装置は、大型インライン装置に匹敵する、コスト/スペース生産性を追求した、装置です。様々なアプリケーションに対応することができます。設置スペースに制限のある方、メンテナンス時間を短縮したい方は、是非、お問い合わせ下さい。

20211117-2_MEMS展2021_BM.PDF

製品・サービス 6 資料PDF

電子部品スパッタ装置　CFS　Series

カソード4基を備え、4種類の異なる材料を成膜できます。また、自公転成膜方式を採用することで、大面積の基板に均一性の高い成膜を行えます。用途に限定せず、様々なアプリケーションに対応できますので、詳しくはお問い合わせ下さい。

20211117-2_MEMS展2021_CFS.PDF

製品・サービス 7 資料PDF

モニタリングツール　キノシステム®

リアルタイムでデータを収集、装置の状態を見える化して生産性UP
機器1台から始められる予知保全のための生産設備管理ツール「キノシステム®」
ツール選定（本ツール）から設備への接続、データ取得など導入までのサポート、データ解析、予防・予知の提案など導入後のサポートまで一貫して行ないますので、設備管理・予防予知保全をしたいがどこから始めれば・・・とお悩みのお客様に適したツールです。

XiNO.pdf

製品・サービス 8

ガスフローコントローラ（GFC）

従来のマスフローコントローラ(MFC)の機能・性能を大幅に改善・向上させたガスフローコントローラです。
・広範囲な流量レンジ：Full Scale 0.5～100%
・高精度な流量制御：Set Point +/-0.5%
・高速な応答性(立上り/立下り速度)：≦100ms@10-100% Full Scale/≦300ms@0.5-10% Full Scale
・圧力/温度変動の影響を受けない
・モニタリング機能：30種以上の内部情報をリアルタイムモニタリング、情報のアウトプット、自己診断機能搭載

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。