アリオス

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小間番号 : 1W-J12
出展展示会 : nano tech 2021
出展ゾーン : 加工:ナノファブリケーションゾーン

出展のみどころ

アリオスは真空・プラズマ技術の専門集団です。『材料合成』『材料加工』『計測・分析』を軸に、宇宙開発関連から自動車、半導体まで幅広い分野のお客様(企業・大学・研究機関等)の研究開発を、コンポーネンツ、ユニット、ご要望に合わせた装置でサポート。近年は研究開発用装置にとどまらず生産装置まで一貫した開発・設計・製造体制を整え、省エネ化や効率化といったお客様の目前の課題解決にも貢献しています。


製品・サービス 1
製品・サービス 2
製品・サービス 3
製品・サービス 4
製品・サービス 5
製品・サービス 6
製品・サービス 7
製品・サービス 8

製品・サービス 1 資料PDF

【材料合成】ダイヤモンド合成用CVD装置

アリオスでは1995年よりCVD装置関連事業の開発を始め、多数の特許を取得しております。
現在はダイヤモンド合成用として、MP-CVD装置 3種, HF-CVD装置 1種をラインアップしており、さらに大型化を目指して開発中です。
当社のダイヤモンド合成用CVD装置は、ダイヤモンド半導体やNVセンターの研究など、薄膜作製に多くの実績があります。宝石目的の実績はございません。


装置紹介_ダイヤモンド合成用マイクロ波プラズマCVD装置.pdf

製品・サービス 2 資料PDF

【材料合成】ダイヤモンド合成用HF-CVD装置

アリオスでは1995年よりCVD装置関連事業の開発を始め、多数の特許を取得しております。
現在はダイヤモンド合成用として、MP-CVD装置 3種, HF-CVD装置 1種をラインアップしており、さらに大型化を目指して開発中です。
当社のダイヤモンド合成用CVD装置は、ダイヤモンド半導体やNVセンターの研究など、薄膜作製に多くの実績があります。宝石目的の実績はございません。


ダイヤモンド合成用HFCVD装置.pdf

製品・サービス 3 資料PDF

【材料合成】マイクロ波液中プラズマ実験装置

2.45GHzのマイクロ波で、純水などの溶液中に、プラズマ(放電)を発生させる装置です。液中プラズマは高速の化学反応場となり、金属ナノ粒子の合成、ダイヤモンド薄膜の合成など、様々な用途に応用出来ます。
反応容器(リアクター)は、プラズマ源の位置により、側面型(S)、ナノ粒子合成に適した上面型(T)、薄膜合成に適した底面型(B)の3種類があります。


装置紹介_マイクロ波液中プラズマ実験装置.pdf

製品・サービス 4 資料PDF

【材料加工】RFラジカルビーム源

ICP(誘導結合プラズマ)で解離した、原子などのラジカル種を照射して、化学反応による試料表面処理を行う装置です。
ガスから解離した原子は反応性が高く、加速したイオンを使用せず(=試料破壊を起こさず)に、表面処理が進行します。
また、ICPはガスを原子化する効率に優れ、ラジカルビームを多く得ることが出来ます。


装置紹介_RFラジカルビーム源 .pdf

製品・サービス 5 資料PDF

【材料加工】グリッドレスイオン源

加速したイオンビームで試料表面のクリーニング等を行うイオン源です。
通常イオンビームを引き出すためには、2台以上の電源が必要ですが、このイオン源では、ホールスラスターと呼ばれるロケットエンジンの原理を応用することで、1台の直流電源のみで、イオンの生成および引き出しを行うことが出来ます。
こうして電源および電極が簡素化されたことで、柔軟な運用が可能となっています


装置紹介_グリッドレスイオン源.pdf

製品・サービス 6 資料PDF

【材料加工】小型マイクロ波イオン源

加速したイオンビームにより、対象物表面を削り取る装置です。
2.45GHzのマイクロ波でプラズマを発生し、このプラズマからプラスの電荷を持つイオンを引き出し・加速して、対象物に照射・叩きつけます。
弊社従来のイオン源(EMIS-221C)と比べ、小型・簡素化かつ大電流化を達成しています。


装置紹介_小型マイクロ波イオン源.pdf

製品・サービス 7 資料PDF

【材料加工】小型スパッタ装置

スパッタリングと呼ばれる現象を利用して、金属等の薄膜を様々な試料の表面に成膜する装置です。
Arガス等の放電(プラズマ)に晒された金属が削られる現象をスパッタリングと呼び、削られた金属を対向する試料の表面に堆積させて、金属膜を形成する技術をスパッタ成膜と呼んでいます。
放電の発生には、直流電源(負電圧)または高周波電源を用い、高周波の場合は絶縁物のスパッタリングも行うことが出来ます。


装置紹介_小型スパッタ装置.pdf

製品・サービス 8 資料PDF

【計測・分析】ラングミュアプローブ

プラズマの状態を計測する測定器です。金属の棒(プローブ)を放電(プラズマ)中に挿入し、プラズマからこのプローブに流入する電流値の変化から、プラズマの密度・エネルギー状態などの情報を取得します。


装置紹介_ラングミュアプローブ.pdf
製品・サービスカテゴリー
材料・素材
カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン、機能性フィルム/シート、ナノ粒子
加工
電子・イオンビーム加工、薄膜製造、エッチング
計測・分析・シミュレーション
シミュレーション・分子設計ソフトウェア
IT&エレクトロニクス
次世代半導体、次世代ディスプレイ、MEMS/マイクロマシン、有機EL、5G関連技術
自動車
次世代二次電池、燃料電池、車載センサー、塗装
環境・エネルギー
燃料電池、太陽電池、光触媒

応用分野
有機材料・化学、電子・磁性・金属・無機材料、半導体・電子部品、光学部品・デバイス、精密機器・産業機械・ロボット、自動車・運輸、航空・宇宙、医療機器、分析・計測機器、電気・電子機器・総合電機、食品・飲料、表面処理加工業、大学・研究機関、官公庁・自治体・地方公共団体

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。

アリオス

〒 196-0021
東京都 東京都昭島市武蔵野3-2-20

TEL : 81-42-546-4811
URL : https://www.arios.co.jp/