製品・サービス 1 デモ

プラズマ発光モニタ EV-140C Series

プラズマ技術を使う製造プロセスは、電子デバイス、フィルム、食品、医療などの分野で幅広く用いられています。EV-140C Seriesは、プラズマ発光状態を外部から非接触で測定し、プロセスの歩留まり向上・改善・異常解析などに貢献します。

製品・サービス 2 デモ

放射温度計 IT-480 Series

IT-480 Seriesは、当社がこの分野で長年培った独自の赤外線検出テクノロジーとノウハウを結集して実現した、組込み、設置型の放射温度計です。
業界最高水準の高精度を持つ放射温度計として、さまざまな工場の生産ラインや装置：プラントの温度管理など産業・工業用途でご利用いただけます。またPCとの接続により研究開発や実験用途などにも幅広くご活用いただけます。

製品・サービス 3 サンプル

アドバンスドダイレクトインジェクションシステム VAPBOX Series

VAPBOX Seriesは、独自のパルスインジェクションによる気化・霧化技術と最適化されたヒーティングチャンバにより、高信頼性と高い再現性を持った液体材料の気化システムです。
これにより低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい液体材料等の気化が可能です。また、常温あるいは常圧におけるミスト発生・供給も可能です。

製品・サービス 4 サンプル

コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

MICROPOLE Systemは、半導体や液晶パネル、太陽電池などの成膜プロセスにおいて、チャンバの全圧及び残留しているガスの分圧を計測できる質量分析計です。質量検出部には9つの四重極部で構成し、「世界最小クラスのサイズ」「軽量化」「高圧化・低真空」を実現しています。
小規模真空チャンバや機能性フィルムの薄膜形成工程でのガス分析、ガスプロセス管理に最適です。

製品・サービス 5 サンプル

キャパシタンスマノメータ VG-200 Series

VG-200 Seriesは、耐食性に優れたNi合金をダイヤフラムに採用した、自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計です。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。
様々な真空アプリケーションにご使用いただけます。

製品・サービス 6 サンプル

プラズマエミッションコントローラ RU-1000

タッチパネル用フィルム等は反応性スパッタリングにより成膜が行われます。反応性モードと成膜速度の早い金属モードの間に不安定ですが、成膜速度が大きく変化する遷移モードがあり、プラズマ発光強度から反応ガスを制御することで遷移領域を保持できます。
RU-1000は、プラズマ発光強度をセンサーで捉え、独自のアルゴリズムにより適切な反応性ガス流量の指示を行い、金属モードに近い成膜速度と安定な成膜を実現します。

製品・サービス 7 サンプル

マスフローコントローラ SEC-N100 Series

小流量(10 SCCM)から大流量(1000 SLM)までのワイドな流量フルスケール、デジタル/アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。
2成分・多成分ガス混合装置、テストガス発生システム等もご提案いたします。

連絡先情報

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それ以外の目的（セールス等）で無断に使用・転載する事を固く禁じます。

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