プローブ顕微鏡(AFM)／光干渉顕微鏡(CSI)／電子顕微鏡(SEM)の特長を活かした測定のノウハウと複合的な材料分析事例のご紹介～ナノ３D形状計測ソリューション、SEM/AFM相関分析～

11:25-12:10

【講演概要】

走査型プローブ顕微鏡(AFM)、ナノ3D光干渉計測システム(CSI)、走査型電子顕微鏡（SEM）のそれぞれの装置の特長と、測定対象ごとの最適な測定手段の選択方法について事例を交えながらご説明いたします。また、SEMによる形態、組成、元素分布観察等と、AFMによる3D形状計測、電気機械物性を同一箇所で行うSEM-AFM相関顕微鏡手法など装置を複合に用いた活用事例をご紹介いたします。