山口大学
- ブース内プレゼン
出展展示会 : nano tech 2020
出展ゾーン : アカデミアポスターセッション
出展のみどころ
超低電圧ハイブリッド対向スパッタ
有機EL,フィルムベースエレクトロニクス・ディスプレイ,全固体電池及び,スピントロニクスのような,超低ダメージ作製が求められる多元素系材料でかつ多層薄膜構造素子の作製分野において,キーテクノロジーとなる超低ダメージ・超低電圧スパッタが可能なハイブリッド対向スパッタ装置の開発を行っている。共同研究と製品化を目指す企業を募集しています。
製品・サービス 1 ブース内プレゼン
超低ダメージ・超低電圧スパッタ成膜が可能なハイブリッド対向スパッタ
新しく開発したハイブリッド対向スパッタはITO透明導電膜の成膜において,1)成膜中のスパッタ電圧が-100 Vと,従来方法では不可能な200 V以上もの大幅な低電圧化,2)Arガスのみの基板加熱無しAs-depo成膜で室温での抵抗率ρ=5.2x10-4Ωcmと低抵抗率化,
を同時達成し,有機ELなどの超低ダメージ作製が求められる分野においてキーテクノロジーとなる。
製品・サービスカテゴリー
材料・素材
フォトニクス材料(EL、LED、液晶、光ディスクなど)加工
薄膜製造IT&エレクトロニクス
有機EL自動車
次世代二次電池環境・エネルギー
二次電池、太陽電池応用分野
半導体・電子部品、表面処理加工業、大学・研究機関、電子・磁性・金属・無機材料、電気・電子機器・総合電器
課題別ソリューション
次世代電池、センシング
連絡先情報
下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。
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