製品・サービス 1

ナノインデンター

自動車部品で多用されるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜やコネクタの電極表面の金属メッキ膜、樹脂表面の保護用ハードコート膜など、製品の機械的特性を向上させる薄膜の使用が増えています。ナノインデンターでは、従来の押しこみ試験では測定が困難であったミクロンレベルの薄膜に対し、高精度かつ自動で硬さ・ヤング率等の機械的特性が取得可能です。さらに加熱やスクラッチといった各種オプションも追加可能です。

製品・サービス 2 新製品

TESCAN社製FIB-SEMシステム

集束イオンビームと電子顕微鏡が一体化したFIB-SEMシステムは、特定箇所の断面加工・観察がナノスケールで可能で、故障解析、3次元イメージングや他の分析の試料作製など幅広く使用されています。最大1mmまでの高速断面加工が可能なXeプラズマFIB-SEMの新製品TESCAN AMBER Xのほか、FIB-SEMシステムに搭載可能なToF-SIMSや共焦点ラマン顕微鏡を組み合わせた分析事例について紹介いたします。

製品・サービス 3

香りやニオイ研究に用いる膜型表面応力センサ

独自のMEMS技術で作製された薄さ2.5µｍの円形のメンブレンを、ピエゾ抵抗素子が組み込まれた4つのブリッジで支えることで、メンブレンの機械的変化を電気信号に変えます。メンブレン上に塗布された感応膜にニオイ分子が吸着すると、感応膜に応力が生じてメンブレンを変形させるため、ブリッジに埋め込まれたピエゾ抵抗素子の電気抵抗が変化します。この電気抵抗の変化を計測することで、対象の分子を検知することができます。

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