東北大学 学際科学フロンティア研究所 島津研究室
出展展示会  :  Smart Sensing 2024
小間番号  :  5E-59
  • サンプル

原子拡散接合法:室温接合技術の新展開

室温接合技術(原子拡散接合法ADB)の最新技術を用いて作製したサンプル展示と,技術の紹介を行います.
ADBは無機薄膜(金属膜,酸化膜,窒化膜等)を用いて,任意材質のウエハや基板を室温で接合する技術です.既に,電子デバイスや光学デバイスの生産にも使われています.
共同研究先(キヤノンアネルバ(株),(株)ムサシノエンジニアリング,Orbray(株)等)の接合装置や技術紹介とサンプル展示も行います.


製品・サービス情報

連絡先情報

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企業名  :  東北大学 学際科学フロンティア研究所 島津研究室
住所  :  〒 9808578
宮城県 仙台市青葉区荒巻字青葉6-3
TEL  :  022-217-5494
URL  :  https://www.fris.tohoku.ac.jp/~shimatsu/