GHz帯薄膜コモンモードフィルタの広帯域化と低群遅延特性の両立
2023年06月02日（金） 14:00-14:20 登録不要 無料
会場： ＜展示ホールセミナー会場E＞3D-MIDセミナー/アカデミックプラザ
信州大学 工学部 電子情報システム工学科 先端磁気デバイス（佐藤・曽根原）研究室
半田 励氏
信州大学 工学部 電子情報システム工学科 先端磁気デバイス（佐藤・曽根原）研究室
曽根原 誠氏
信州大学 工学部 電子情報システム工学科 先端磁気デバイス（佐藤・曽根原）研究室
中山 英俊氏
信州大学 工学部 電子情報システム工学科 先端磁気デバイス（佐藤・曽根原）研究室
佐藤 敏郎氏
【講演概要】
発表者らは，チップ部品であるコモンモードチョークコイルでは困難なコモンモードフィルタの低背化を主な目的とし，薄膜プロセスで作製可能なMIMキャパシタと結合インダクタから構成される薄膜コモンモードフィルタ（以下，薄膜CMFと記述）を開発している．従来の薄膜CMFにはフィルタ特性が狭帯域であるといった課題があったが，３並列構造にすることで広帯域化が可能であることが先行研究にて示された．しかしながら，前述の構造ではデジタル信号伝送において重要な群遅延特性に課題があり，更にその改善が困難であった．本発表では群遅延特性の改善を目的とし再設計された薄膜CMF*の群遅延特性を含む伝送特性の解析結果について報告する．